Das Abbilden von Probenoberflächen ist mit dem Elektronenstrahl sowie dem Ionenstrahl bis zu einer Auflösung von ca. 1 nm  bzw. 5 nm möglich. Abbildung 1 zeigt eine Aufnahme mit dem Elektronenstrahl von Pt-Nanopartikeln auf Graphen-Nanoplatelets [1]. Die Pt-Partikel haben einen Durchmesser von ca. 4 nm.

Abbildung 1: Pt-Nanopartikel auf einem Graphen-Nanoplatelet [1].